项目动态 | 拓局8吋SiC赛道！中导光电纳米级晶圆检测设备喜获两家客户新订单

近日，中导光电设备股份有限公司（下称 “中导光电”）再传产业捷报，公司自主研发 NanoPro-150C 8 吋 SiC 纳米级晶圆缺陷检测设备，成功开拓两家国内 8 吋碳化硅制造企业，双双达成正式设备采购订单。

本次新客户突破，标志中导光电国产 SiC 高精度检测装备实现规模化横向落地，进一步巩固其在 8 吋大尺寸碳化硅检测赛道的国产优势地位，加速功率半导体设备自主可控进程。

当前新能源汽车、光伏储能、工业变频等下游需求爆发，8 吋 SiC 晶圆凭借单片产能更高、单位制造成本更低、良率管控优势突出，已成为全球第三代半导体扩产主流路线。

但 SiC 衬底、外延片微管、层错、划痕、颗粒等纳米级致命缺陷，会直接造成功率器件高压失效，对检测设备的光学灵敏度、AI 识别精度、产线稳定性提出严苛门槛，长期依赖海外进口设备，存在供应链与成本双重痛点。

中导光电 NanoPro-150C 系列专为 8 吋 SiC 全制程定制，搭载自研多模式复合光学成像系统与深度学习 AI 缺陷分类算法，可实现纳米级微观缺陷高速捕捉、自动分级、全流程数据追溯；设备整体国产化率超95%，打破海外设备软硬件壁垒，同时适配有图形晶圆全工艺段量产检测，兼顾高检测灵敏度与大产线吞吐量，完美匹配 8 吋 SiC 工厂规模化扩产需求。

中导光电相关负责人表示，8 吋 SiC 是公司第三代半导体战略核心赛道，此次一次性开拓两家全新客户，是市场对公司技术实力、量产交付能力、全链条工艺服务体系的双重认可。

未来，中导光电将持续迭代升级 NanoPro 系列产品，优化超大口径光学模组、强化 AI 缺陷识别模型、提升设备自动化集成能力；同步推进 12 英寸 SiC 检测设备研发布局，持续完善国产宽禁带半导体检测装备解决方案。

同时，公司将依托本土化研发、生产、服务一体化优势，深度联动上下游晶圆厂，协同攻克大尺寸 SiC 制造工艺痛点，助力国内第三代半导体产业链安全自主，为新能源产业高质量发展筑牢国产装备根基。

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